低・中温用NEW PISR ESH3PAT

金属壁面に発熱体を多段配置したヒーター

NEW PISR ESH3型ヒーターは、金属壁面に発熱体を多段配置した長尺ヒーターです。各段毎に温度制御を行うことで、均一な温度特性を得ることができます。1000℃までの連続炉、バッチ炉に適しています。また、高発塵部材の使用をなくしたことで、半導体製造装置、医薬分野、食品分野などクリーン度が必要な分野に使用することができます。

低・中温用 New PISR ESH3型

特 長

  1. 高い均熱性

    発熱体を長手方向に多段配置しゾーン制御を可能にしたことで、高い均熱性が得られます。

  2. 熱容量(高熱量

    複数の金属壁で静止空気による断熱層を構成したことにより、熱容量を抑制し、昇降温特性を向上できます。

  3. 更に良好な応答性

    NEW PISR型ヒーターと同様に発熱体を中空に浮かせた構造にしたことで、ヒーターの昇降温速度が向上します。

  4. クリーン対応

    ブランケット、耐熱ペーパー等の高発塵部材の使用をなくしたことにより、クリーン度が必要とされる分野に使用できます。

  5. 反射板による高熱効率・省エネ・熱ロス低減

    ヒーター内壁に白金箔を使用した高反射板を配置し輻射熱を効率的に利用するため、省エネにつながります。(Option)
    ※高反射板を使用した場合は常用800℃までの使用になります。

  6. オプション対応も可能

    ヒーター内壁をブラッシュ加工し輻射熱の反射率を高めたことで、外部への熱逃げが減少し、省エネにつながります。(Option)

  7. 水冷パイプでも冷却可能

    ヒーター最外殻に水冷パイプを設置することで、さらに温度応答性が向上します。(Option)

ヒーター、炉のタイプ

ヒーター、炉のタイプ

ヒーター仕様

ヒーター使用温度100~1000℃
壁面負荷密度~10W/cm2
寸法形状内径(円筒型) 300mm  高さ 150mm/段

PAGE TOP