低・中温用PISR-HC型

石英ガラスの金属発熱体封じ込みによる
クリーン対応ヒーター

金属発熱体を石英ガラスで封じ込むことで、被加熱物が金属発熱体及び発熱体支持碍子などから出るスケールからの影響を受けることを防止できます。 半導体及び医療、食品などのクリーン環境を必要とする分野に対応したヒーターです。

低・中温用 PISR-HC型

特 長

  1. 高負荷密度

    面状ヒーターを使用することで、約6W/cm2の出力設定が可能です。

  2. 石英の白金反射

    石英ガラスの背面に白金反射板を付けることで、省エネルギーを実現できます。

  3. 波長変換塗料で高熱伝達

    金属発熱体に波長変換塗料を塗ることで、熱伝達効率を高める事ができます。

  4. 石英の失透対策

    石英ガラス、金属発熱体との反応による失透を防ぐため、特殊処理を施した発熱体支持碍子を用いて、石英ガラスと金属発熱体との非接触構造を実現しました。

構 造

構造図

データ

PISR-HCデータ

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