貞徳舎株式会社 工業用電熱ヒータ及び耐火物の製造・販売

石英異型管ヒータ

ワンランク上のクリーンな環境に対応

  • 金属発熱体を石英ガラスで封止することによりコンタミを防止します。
  • 帯状発熱体を使用することにより、加熱面積が広く使えます。
  • ゾーン分割やユニット設計ができます。

オーバルタイプ

  • ユニット設計・製作が可能です。
  • 食品及び水の加熱に使えます。

フラットパネルタイプ

  • ゾーン分割が可能です。
  • 基盤用の加熱に使えます。
  • 建材用のガラスの加熱に使えます。

ラジアントタイプ

  • 全方位ムラなく加熱できます。
  • 半導体の洗浄槽加熱に使えます。

性能表

オーバルタイプ フラットパネルタイプ ラジアントタイプ
最高使用温度(炉内) 900℃ 900℃ 900℃
壁面ワット密度 ~5W/cm2 ~5W/cm2 ~5W/cm2
形状 楕円形 角板形 筒形
製作可能寸法 W58×L1000mm W300×L305mm ø70.5/ø64.5×L600mm
電気仕様 3420W 100V 4500W  100V 3500W  100V

お客様のご使用条件により異なります。

石英ガラスの特徴

  • 光をよく通します。
  • 純度が高いです。
  • 熱に強いです。
  • 薬品に侵されにくいです。
高純度、耐薬品性という特徴から、半導体をはじめ、LEDや太陽電池、液晶パネルの製造プロセスで 幅広く 使われています。

用途

半導体被膜処理 / ガラス熱処理 / 医療機器製造装置 / 食品機器製造装置 / 理化学機器製造装置

石英管を使用した帯状ヒータの開発

石英管を使用した帯状ヒータの開発
  • 帯状発熱体なので安定時は均熱がはかれます。
  • 発熱体が石英ガラスで覆われているのでコンタミを  防止し、クリーンです。
  • 液晶パネル、有機EL、太陽光パネルなどの面積の  大きいものを均一に加熱できます。

ハイブリッドヒータの開発

別の熱源としてタングステンを使用したランプヒータを使ったヒータの開発に注目しました。

ハイブリッドヒータの開発
  • ランプヒータ・・・昇温速度がはやい
  • 帯 状 発熱体・・・均熱性がある 

それぞれのいいところをとったハイブリッドヒータ

金属発熱体に比べて昇温が速い

さらなる昇降温の短縮が実現できれば、半導体製造装置 においては、真空ポンプや冷却水などの付帯設備にかかる エネルギーが削減され、省エネにつながります。
生産性向上でコストダウンに寄与することができます。